随着工业设备的数位化，自动检测结构物和机械设备等异常或损伤、实现预测性维护的需求不断成长。如桥梁、建筑等结构物需要长期监测变化，能否透过感测器进行自动化侦测，准确捕捉结构物微小形变或变化的加速度感测器效能，将会影响整个监测系统的可靠性。

数位三轴MEMS加速度感测器SCA3400系列针对工业设备设计，配备可即时监控感测器状态的自诊断功能。（source：村田）

株式会社村田制作所针对工业设备开发数位三轴MEMS加速度感测器SCA3400系列，透过自主研发的MEMS制程与新型电路设计，开发出既可侦测微小倾斜、偏移寿命漂移值控制在0.5mg以下，在长期使用下维持基准位置，能够在侦测结构物的细微倾斜具有高精确度。

SCA3400系列具备高度耐久性，有助於提升桥梁、建筑等结构健康监测等系统监测设备的可靠性，而具备出众的抗振动和抗温度变化能力，即使在恶劣环境下的工业设备中，也可以长期稳定使用。数位三轴MEMS加速度感测器SCA3400系列预计於2025年10月开始量产。