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CTIMES / 謝忠益、柯富祥
科技
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电子工业改革与创新者 - IEEE

IEEE的创立,是在于主导电子学的地位、促进电子学的创新,与提供会员实质上的协助。
奈米世代微影技术之原理及应用 (2004.08.04)
微影技术在半导体制程中一直被认为是最重要的步骤,包括一直被广泛应用在定义图案的光学微影以及被应用在光罩制作上的电子束微影,而未来进入奈米时代之后,微影技术也面临许多更新的挑战,本文将藉由简介先进微影技术之能力与限制,为读者剖析目前主流微影术技术之应用与发展趋势

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