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面對技術/市場　微影設備發展加倍艱辛 (2002.10.29)
根據外電指出，全球微影設備市場將下降為32億美元，出貨量衰退達433台，比去年的45億美元減少29％，出貨量亦比去年的822台少了47％。事實上，有業者指出，目前微影發展不論就市場或技術來看，都面臨一定的發展瓶頸－除了市值下降外，技術研發成本赤不斷上升


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